多晶硅锭定向凝固生长方法概述(PPT 96页)
所属分类：工艺技术
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资料简介：
8.5.1 铸锭浇注法
8.5.2 定向凝固法
定向凝固法
8.5.3 电磁感应加热连续铸造(EMCP)
8.5.3电磁感应加热连续铸造(EMCP)
8.5.3 电磁感应加热连续铸造(EMCP)
Electromagnetic casting method
8.5.4 多晶硅铸锭
坩埚喷涂
8.5.4 多晶硅铸锭
多晶硅铸锭
多晶硅铸锭炉设备
定向凝固中的一些工艺参数
铸造多晶硅
多晶硅中的杂质
多晶硅中的杂质(1)多晶硅中的氧
多晶硅中的杂质(2)多晶硅中的碳
多晶硅中的杂质(4)多晶硅中的氮
多晶硅中的过渡族金属元素
多晶硅中的缺陷
多晶硅中的缺陷
半导体级高纯硅的制备
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