IC有源元件与工艺流程(ppt 94页)
所属分类：流程管理
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资料简介：
5.1 概述
5.2 双极性硅工艺
5.3 HBT工艺
5.4 MESFET和HEMT工艺
5.5 MOS工艺和相关的VLSI工艺
5.6 PMOS工艺
5.7 NMOS工艺
5.8 CMOS工艺
5.9 BiCMOS工艺
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