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薄膜材料与技术概述(ppt 30页)

所属分类:技术表格

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资料简介:

主要内容
5.1 薄膜的厚度/沉积速率
5.2 薄膜形貌/结构
5.3 薄膜成分
5.4 薄膜的附着力

..............................

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