半导体制造工艺之晶体的生长概述(PPT 39页)
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资料简介：
半导体器件与工艺
二、对衬底材料的要求
三、起始材料--石英岩（高纯度硅砂--SiO2）
硅片掺杂
掺杂分布
掺杂分布
区熔提纯
多次区熔提纯
衬底制备
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