工艺的发展及应用课程(PDF 7页）

! 引言
为了能够产生高深宽比的三维微结构! !"#$
年德国教授%&’()*+,- 等人首次提出了./01
技术" 2# ! 又称为34)564./01$ 其后! 美国78
09:;+, 教授等人在以后的几年里研究并提出了使
用深紫外光代替同步3 射线的准./01 技术"<# 和
牺牲层=./01 技术">#$ 这使得基于./01 技术的
产品成本大大降低! 并使得制造免组装可活动微
器件成为可能$ 为了将./01 技术更广泛地应用到
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