半导体制造工艺基础之扩散工艺培训课件(PPT 28页)

6.1 基本扩散工艺
6.1.1 扩散方程式
6.1.2 扩散分布
6.1.3 扩散层测量
作 业
恒定表面浓度扩散  不能全写公式 t为时间t=0 掺杂浓度为0
扩散原理
扩散工艺
扩散常见的质量问题
掺杂区
有限源扩散
本章重点
杂质移动
横向扩散
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