PECVD段工艺培训(ppt 37页)
所属分类：企业培训
文件大小：9902 KB
下载要求：10 学币或VIP
点击下载
资料简介：
..............................
主要内容
工艺人员的主要职责
简单介绍PECVD
PECVD的原理与作用
介绍两种PECVD所用的设备
生产过程中可能遇到的异常及处理方法
附件
PECVD段工艺培训
工艺人员的主要职责
对PECVD的简单介绍
PECVD原理与作用
1、减反射
2、钝化
介绍两种PECVD设备
频率变化对镀膜的影响：
目前公司所用设备：
测试仪器：
常见问题及其处理方法
报警的处理：
不同膜厚硅片颜色对比：
异常片处理流程
其他注意事项：
附件：
The End
..............................
精品资料网 m.cnshu.cn
Copyright © 2004- 粤ICP备10098620号-1
