TCAD工具仿真流程培训讲义(PPT 65页)

 工艺和器件TCAD仿真软件的发展历程
 工艺和器件仿真的基本流程
 TSUPREM-4/MEDICI的仿真示例
 ESD防护器件设计要求及TCAD辅助设计的必要性
 利用瞬态仿真对ESD防护器件综合性能的评估
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