微惯性技术发展现状与未来趋势讲义(PPT 39页)

微惯性技术发展现状与未来趋势
MEMS简介
微机电系统的尺寸
MEMS的特点
微惯性器件类别
微加速度计、微陀螺仪外观
微机电加速度计发展
悬臂梁式加速度微传感器结构图
硅梁结构图
2.电容式加速度微传感器
三轴式电容式加速度微传感器
3.谐振式加速度传感器
4.隧道式加速度微传感器
5.伺服式加速度微传感器
微机电加速度计应用
4.安全防撞系统
MEMS在汽车中的应用
提高电梯车辆舒适性
1、 微机械陀螺仪基本概念
1.1 基本概念及组成
1.2 微机械陀螺特点
1.3  微机械陀螺分类
4、微机械陀螺发展概述
微机械陀螺国内外研究现状
5、微机械陀螺应用
应用举例
应用前景展望

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