扩散工艺培训课件(ppt 74页)
所属分类：工艺技术
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资料简介：
主要内容
§3.1杂质扩散机构
§3.2扩散原理（扩散系数扩散方程）
§3.3扩散杂质的分布
§3.4影响杂质分布的其他因素
§3.5扩散工艺
§3.6扩散工艺的发展（自学）
§3.7工艺控制和质量监测（补充）
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