精密和超精密加工的机床设备技术(PPT 88页)

3.1  精密和超精密机床发展概况及典型机床简介
3.2  精密主轴部件
3.3  床身和精密导轨部件
3.4  进给驱动系统
3.5  微量进给装置
3.6  机床运动部件位移的激光在线检测系
3.7  机床的稳定性和减振隔振
3.8  减少变形和恒温控制

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