深亚微米工艺下的电路设计讨论(PDF 52页）
所属分类：工艺技术
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资料简介：
• 按比例缩小原理
• 短沟道效应
• 深亚微米工艺下的设计讨论
• SOC设计
理想的晶体管按比例缩小
– 纵向和横向尺寸均缩小α倍(α>1)
– 电源电压和晶体管阈值电压降低α倍
– 所有掺杂浓度增大α倍
• 恒电场按比例缩小(constant-field scaling)
• 缩小速度遵循摩尔定律
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