集成电路工艺硅的晶体结构培训课件(PPT 37页)
所属分类：工艺技术
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资料简介：
Chap 1 硅的晶体结构
1.1 硅晶体结构
1.2 晶向、晶面和堆积模型
1.3 硅晶体中的缺陷
1.4 硅中杂质
1.5 杂质在硅晶体中的溶解度
衬底制备
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