真空获得设备讲义(PPT 70页)
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资料简介：
真空获得设备
一、引论
2）气体捕集泵：吸附泵；低温泵。
表1－1 各种真空 泵的工作压 力范围
真空泵在真空系统中的作用
高真空抽气系统原理流程图
二、液环式真空泵
能量转换2
2.2 液环泵的基本类型与结构
内部进气口和排气口的改进( * 最重要的改进)
锥体泵：采用上部进气和下部排气的结构
四、旋片式真空泵
4.2旋片泵的工作原理与结构特点
旋片泵工作原理图
图4－2 2X型旋片泵结构简图
图4－6 双级泵结构示意图
气镇阀是旋片泵为抽除可凝性气体而设置的。
图4－7 气镇阀结构
五、滑阀式油封机械泵
5.2 滑阀泵的工作原理和结构特点
5.2.2 结构特点
图5－3滑阀泵的三种结构形式
图5－4 双缸滑阀泵结构
图5－5双缸滑阀泵的平衡
六、罗茨式真空泵
6.2罗茨泵的工作原理及其结构特点
图6-2 罗茨泵的剖面示意图
图6-3 罗茨泵的旁路溢流阀结构示意图
图6-6 气冷式罗茨泵原理图
七、油扩散泵
7.2油扩散泵的工作原理
图12－2油扩散泵的抽气过程示意图
图12－5 扩散泵体外形图
八、油扩散喷射泵
图13－1 多级喷嘴抽气原理图
图13－4 小型双级油扩散喷射泵结构图
图13－5带喷射级的油扩散喷射泵结构
九、低温泵
9.2 低温泵的抽气原理和分类
图14－2 低温冷凝泵
图14－3普通低温泵
图14－4 连续流动式低温泵
图14－5 小型制冷机低温泵
图14－10 典型低温泵的布置
图14－11 一种窄泵结构
图14－12 ＣＲＹＯ－Ｕ12Ｈ型低温泵结构
十、溅射离子泵
10.2 溅射离子泵的工作原理 10.2.1 溅射离子泵的结构
10.2.2 泵内的物理过程
图15－3溅射离子泵抽气机理示意图
十一、其他类型真空泵
图16－4 外冷式吸附泵结构示意图
11.2钛升华泵
图16－5钛升华泵的工作原理
11.3电离升华泵
11.4非蒸散型吸气泵
图16－13 锆铝泵结构
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