真空磁控镀膜设备构造讲义培训(PPT 39页)

镀膜设备系统简述
真空系统
罗茨泵具有以下特点：
分子泵结构
真空泵的主要参数
真空计
传动系统
加热系统
冷却系统
工艺布气系统
..............................

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