外延工艺简介(PPT 47页)
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点击下载什么叫外延生长?
硅外延的基本原理
外延设备及所用的气体
在外延中应注意的问题
外延层中的晶体缺陷
外延的质量表征因子
外延层测试设备
目前国内外延的动态
外延工艺简介
什么叫外延?
硅外延的基本原理:
外延生长掺杂原理
外延设备及所用的气体:
各种硅外延炉比较
在外延中应注意的问题:
外延生长中的自掺杂
图形漂移、畸变
外延层中的晶体缺陷:
外延的质量表征因子:
外延层测试设备:
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