稀有气体回收装置使用手册(DOC 28)

1. 引言....3
2. 总述....4
3. 安全措施的说明....5
4. 技术维护的种类和周期性....6
5. 技术维护的顺序....7
5.1 固定的技术维护的顺序....7
5.2 周期性的技术维护的顺序....8
5.3 不取出绝热材料的情况下对装置设备进行气密性试验....10
5.4 吸附器AP16的维护顺序....24
5.5 焙烧炉AP5和气体再净化装置AP18的维护顺序....25
附录A....26
附录Б....27

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