PECVD生产操作规程(PPT 37页)
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1 安全警告
2 安全与标识
3 开机
3.1 开总电源
3.2 启动计算机
3.3 检查冷却水
3.4 检查气源
3.5 启动“system”程序
4 选择工艺单、生产
4.1 开真空泵,预加热
4.2 启动指定工艺
4.3 检查工艺运行情况
4.4 传动状态测试
4.5 进行工艺调试,生产
5 停机
5.1 停止工艺运行
5.2 关墙壁气箱中特气阀,特气管路吹扫
5.3 关掉真空泵,向腔体冲入N2
5.4 退出控制程序,关主电源
5.5 关上压缩空气、氮气、冷却水
PECVD生产操作规程
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