PVD设备及工艺简介(PPT 77页)
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泵
靶
真空测量
真空检漏
PVD工艺简介
PVD相关概念定义
真空度量单位
磁控溅射
铂阳生产线相关工艺简介
合金靶的溅射
金属氧化物的溅射
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