MEMS磁芯螺线管微电感的制作工艺探讨(pdf 6页)

MEMS磁芯螺线管微电感的制作工艺探讨内容提要：
目前螺旋型微电感作为一种集成电感、广泛应用于集成电路中’但它具有几个缺点,-它需要引线从器件里面引到外面’这样就增加了不必要的寄生电容(.+/0-对于相同匝数的电感’其尺寸远远大于其它类型的电感/1-其产生的磁通方向垂直于基底’这将干扰垂直方向的集成器件
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