IC有源元件与工艺流程介绍(ppt 48页)
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1.1 、概述
1.2 、双极性硅工艺
1.3 、HBT工艺
1.4 、MESFET和HEMT工艺
1.5 、MOS工艺和相关的VLSI工艺
1.6 、PMOS工艺
1.7 、NMOS工艺
1.8 、CMOS工艺
1.9 、BiCMOS工艺
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