内层制程试车作业管理规范(doc 18页)
所属分类：设备管理
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资料简介：
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内层制程试车作业规范目录：
一、目的
二、说明
三、设备点检项目
四、测试项目
内层制程试车作业规范内容简介：
去膜点
测试目的: 测试显影线去膜效果是否正常
测试材料: 39mil 1/1 20”×24”测试板
检验工具: 量尺,秒表
检验标准: 40%±5%,测试速度5.2M/MIN
测试方法:1、准备基板10PNL,做前处理、压膜,用透明底片对其进行曝光静置15分钟后待用
2、将测试板放入去膜段，测试板放置时须紧密连靠，此时记录第一片板子经过去膜槽的时间，以米尺量测去膜槽的长度，推算出实际速度与设定速度是否符合
3、第一片板子出去膜段时，立即将去膜液喷压,传动关闭，打开去膜槽的上盖板,观察去膜情况
4、依测试板的去膜程度，于开始有去膜不净处做记录，以米尺量测并除以去膜槽的全长，计算出去膜点。测试完毕后,打开喷压,传动,将测试板取出
5、去膜点计算方式：[1-（去膜干净的有效长度/去膜槽有效长度）] ×100%
6、去膜点未达标准时，检视去膜槽的喷嘴、喷压及速度，若有异常则调整至标准值。
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