微机械惯性传感器检测平台的设计与应用(doc 8)

资料简介：

摘要：一种用于微机械惯性传感器研制与开发的检测平台，介绍电容式惯性传感器微电容信号的检测原理、该系统的总体结构、各个组成部分的工作原理及自动检测方法。

    关键词：微机电系统（MEMS） 微机械陀螺（MMG） 检测

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