薄膜的制备工艺培训课件(PPT 43页)

1.什么是薄膜
1.1薄膜的几种定义
1.2薄膜的分类
1.3薄膜的特点
2.薄膜的制备工艺
2.1物理气相沉积
2.2化学气相沉积
2.2.1金属有机化学气相沉积
2.3溶胶凝胶法
2.4电沉积
薄膜的制备工艺
主要内容
2.薄膜的制备方法
2.1物理气相沉积(physicalvapordeposition）
2.2化学气相沉积(chemicalvapordeposition)
2.2.1金属有机化学气相沉积MOCVD
MOCVD法的特点
2.3.1Sol-Gel制薄膜的特点
2.3.2溶胶－凝胶方法制备薄膜工艺
2.3.4不同Sol-Gel工艺方法的对比
2.3.5Sol－Gel方法制备薄膜的步骤
2.4电沉积(Electrodeposition）
电沉积的特点
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