传感器的加工工艺培训教材(PPT 30页)
所属分类:工艺技术
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腐蚀工艺
湿法腐蚀工艺
干法腐蚀工艺
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薄膜工艺
化学气相沉积
真空蒸镀
溅射成膜工艺
光刻技术
深紫外光刻
电子束光刻
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离子注入技术
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辅助工艺
封装技术
封装层次结构
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