多晶硅工艺生产技术概述(DOC 51页)
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资料简介：
目 录.....I
摘 要.....II
第一章 多晶硅的认识和产品的用途.....1
一、什么是多晶硅.....1
二、什么是半导体.....1
三、纯度表示法.....1
四、多晶硅产品的用途.....1
第二章 多晶硅的生产方法.....2
一、锌还原法（杜邦法）.....2
二、四氯化硅氢还原法（贝尔法）.....2
三、三氯氢硅热分解法（倍西内法）.....3
四、三氯氢硅氢还原法（西门子法）.....3
五、硅烷热分解法.....3
六、改良西门子法.....3
第三章 改良西门子法工艺.....3
一、发展历程.....3
二、改良西门子法归纳起来有三大特点.....4
三、工艺生产化学反应方程式.....4
第四章 多晶硅生产的工艺过程.....4
一、合成部分.....4
1、液氯汽化.....4
2、HCL合成.....6
3、三氯氢硅合成.....8
二、提纯部分.....11
三、氢化还原部分.....15
1、还原工序.....15
2、四氯化硅氢化.....18
四、回收部分.....21
五、公用辅助部分.....27
第五章 多晶硅工艺的主要控制.....27
一、还原炉的自动和联锁控制.....27
二、尾气回收吸附塔的顺序控制.....32
第六章 结束语.....48
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