光刻机简单介绍(PPT 36页)
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点击下载1.发展史
2.光刻机概述
3.光刻机构造
4.相关技术
1.接触式光刻机
2.接近式光刻机
3.投影式光刻机
4.扫描式光刻机
5.步进式光刻机
6.步进扫描式光刻机
光刻机简单介绍
光刻机发展过程
光刻机概述(一)
光刻设备概述(二)
光刻机
光刻机基础
光学基础知识
光刻机整体构造
光学系构造
光刻机构造-干涉滤光镜
光刻机构造-复眼lens
光刻机构造-SHUTTER UNIT
光刻机构造-Stage unit(1)
光刻机构造-STAGE UNIT (2)
光刻机构造-Stage unit(3)
工作台定位-HP干涉计
工作台定位:移动境、固定境
光刻机构造-LENS CONTROLLER
LC倍率控制的实现
LC与AUTOFOCUS的关系
光刻机-相关特性参数
数值孔径
分辨率: R
焦点深度:DOF
分辨率、焦深、NA关系
离轴照明
离轴照明的优点
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