真空测量技术基础培训系列(PPT 103页)
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1真空测量概述
1.1什么是真空测量
1.2真空度的表征及单位
1.3真空计分类
1.4真空计测量范围
1.5真空测量特点
1.6选择真空计原则
2全压力测量
3分压力测量
3.1分压力测量概述
3.2四极滤质器
3.3射频质谱计
3.4识谱技术
4真空计校准
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