洁净室知识培训教材(PPT 47页)
所属分类：企业培训
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资料简介：
运动时产生的尘埃粒子数量
静坐时产生的尘粒数约10,000
轻微运动时产生的尘粒数约100,000
剧烈运动时产生的尘粒数约10,000,000
灰尘是如何去除的呢？
照明
风淋室（Airshower）
传递箱(PASSBOX)
洁净室Cleanroom:空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、
产生滞留粒子。室内其它有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制
由于半导体工业所制作的集成电路元件尺寸越来越小，在一块小小的芯片上，
整合了许许多多的元器件，因此在制造的过程中就必须防止外界杂质污染源
(包括尘埃、金属离子、各类有机物等)，
因为这些污染源可以造成元器件性能的劣化及产品成品率和可靠性的降低。
所以制造集成电路必须在洁净的环境中进行，以尽量将污染源和硅片隔离。
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