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科学研究计划项目申请书编写提纲(DOC 66页)

所属分类:项目管理

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资料简介:

一、 总体介绍
一、 超精密衍射光栅刻划机工作方式及系统组成
一、 立项依据
一. 机械机构
七、现有工作基础和条件
三、 刻划机工作台的运动方式
三、 拟解决的关键科学问题和主要研究内容
三. 实验环境
九、 经费概算
二、 光栅刻划机关键结构部件
二、 拟解决的关键问题和主要研究内容
二、 国内外研究现状和发展趋势
二. 建模与控制方案
于是得转角方程和挠曲线方程为:
五、 计算机辅助制造(CAE)
五、 总体研究方案
五. 控制软件平台设计
图10. 基于单神经元的PID智能控制精度测试
图11. 超精密定位工作台振动(红)与单神经元的PID智能控制算法跟踪(蓝)
图12. 宏微联合前馈智能控制器流程图
图13. 光栅全行程刻划过程中定位误差变化图
图13. 超精密定位平台的控制系统结构
图14 压电驱动器及其控制器
图2.14   金刚石刻刀图
图2.15   复合式刀架结构图
图2.2  斯特朗型示意图
图2.3  斯托洛克型示意图
图4. 新型的整合宏微观效应的刚-柔耦合、虚实混合系统动力学模型结构图
图4.1 光栅刻划机刻划状态监控示例
图4.10.测量光路图
图5. 传统PID控制结构
图6. 传统定常PID控制定位精度测试结果
图8. 单神经元自适应PID控制结构
图9. 单神经元PID算法控制效果的仿真测试
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