高端无机氟精细品市场现状及竞争力分析(pdf 77页)

高端无机氟精细品市场现状及竞争力分析内容提要：
1     氟气 Á 利用氟可制成多种具有强氧化性的氟化剂，如高 氟气 活性的ClF3和BrF3以及比较温和的IF5等。若直接
使用氟气作为氟化剂，则可在氟气中适量加入氮
气或氦气作稀释缓解剂 气或氦气作稀释缓解剂。
Á 现场氟气产生的方式为半导体业界提供了一个对
于传统的全氟化物为主的腔室清除法有市场潜力 于传统的全氟化物为主的腔室清除法有市场潜力
的替代方法。此法已趋成熟，然而仍具有许多新
挑战 如安全性 稳定性 纯度和成本考量 采 挑战。如安全性、稳定性、纯度和成本考量。采
用一体化氟气供应策略对于追求安全、稳定供氟
气和低成本的于客户，是一种有别于传统标准腔 气和低成本的于客户，是 种有别于传统标准腔
体清除化学的有效替代方法。
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