量测系统分析教材(PDF 83页)
所属分类：MSA测量系统分析
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资料简介：
量具与量测系统
• 量具(量测仪器):
--用来获得量测结果的装置
--Ex: OMS (cell gap), Elliposo meter (film thickness)
• 量测系统:
--包括操作程序、作业环境、量具、样本、软件与人员等用以
量测特性数据过程的组合
--监控制程的眼睛
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