基于MEMS技术的汽车传感器研究进展(pdf 8页)

主要内容
1 引言
2 MEMS汽车传感器分类
3几种典型的MEMS汽车传感器
4 MEMS汽车传感器的制作王艺和热王技术
5 MEMS汽车传感器的发展趋势
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