薄膜材料物理之薄膜的形成(ppt 25页)
所属分类:建筑材料
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小岛阶段—成核和核长大:
透射电镜观察:大小一致(2-3nm)的核突
然出现.平行基片平面的两维大于垂直方向
的第三维。
说明:核生长以吸附单体在基片表面的扩散,
不是由于气相原子的直接接触。
结合阶段
两个圆形核结合时间小于0.1s,并且结合后增大了高度,减少了在基片所占的总面积。而新出现的基片面积上会发生二次成核,复结合后的复合岛若有足够时间,可形成晶体形状,多为六角形。核结合时的传质机理是体扩散和表面扩散(以表面扩散为主)以便表面能降低。
核结合时的传质机理是体扩散和表面扩散(以表面扩散为主)以便表面能降低。在结合之初,为了降低表面能,新岛的面积减少,高度增加。根据基片、小岛的表面能和界面能,小岛将有一个最低
能量沟形,该形状具有一定的高经比。
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