微机械惯性传感器检测平台的设计与应用(doc 8)
所属分类：PCB印制电路板
文件大小：766 KB
下载要求：10 学币或VIP
点击下载
精品资料网 >> 行业分类 >> PCB SMT PLD资料 >> PCB印制电路板 >> 资料信息
资料简介：
摘要：一种用于微机械惯性传感器研制与开发的检测平台，介绍电容式惯性传感器微电容信号的检测原理、该系统的总体结构、各个组成部分的工作原理及自动检测方法。
关键词：微机电系统（MEMS） 微机械陀螺（MMG） 检测
随着科学技术的发展，许多新的科学领域相继涌现，其中微米/纳米技术就是诸多领域中引人注目的一项前沿技术。20世纪90年代以来，继微米/纳米技术成功应用于大规模集成电路制作后，以集成电路工艺和微机械加工工艺为基础的各种微传感器和微机电系统（MEMS）脱颖而出，平均年增长率达到30%。微机械陀螺是其中的一个重要组成部分。目前，世界各个先进工业国家都十分重视对MMG的研究及开发，投入了大量人力物力，低精度的产品已经问世，正在向高精度发展。
..............................
下一篇：微型断路器的选择使用doc10
精品资料网 m.cnshu.cn
Copyright © 2004- 粤ICP备10098620号-1
